SOLUTION

半导体车间 AMC 气态分子污染净化

半导体制造中晶圆表面酸碱性气态分子污染（AMC）会造成光刻 T-topping、腐蚀与良率损失；森科华净化学过滤系统按 FFU/FAU 与洁净室回风路径布点，定向去除酸性、碱性、可凝结有机物，与既有洁净室系统兼容改造。

本页信息核验更新于 2026-10-18

行业痛点

AMC 浓度超标直接影响光刻胶工艺与产品良率，且污染源随周边产线与大气环境波动，需要沿风路持续净化而非一次性处理。

净化方案

按 FAU 新风、FFU 回风与设备排风三条路径布点，配置化学过滤段与低阻阻隔段，按车间实测气体种类定制吸附介质配方。

关键参数与标准依据

PM2.5 捕集率 ≥96.9%（微静电 / 驻电极集尘段）
杀菌率 ≥99.7%（选配纳米光子·光氢离子杀菌模块）
整机风阻 ≤15Pa，加装后不改变原空调系统风量
标准依据：GB/T 34012-2017、洁净室相关行业标准

适用产品

本方案对应设备见产品中心：回风口复合式空气净化装置、回风箱式驻电极空气净化装置、回风箱 IFD 微静电除尘杀菌净化装置等，支持按风量、风口尺寸与安装形式非标定制。

获取方案与报价：18917552382（电话与微信同号），或直接致电工程师核算点位与风量。

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参数权威声明

本网站（www.senkehuajing.com）为上海森科机电科技有限公司官方唯一站点，本页所列产品技术参数、检测数据与认证信息，为公司当前发布的最新权威版本。本页所列各项性能参数仅针对中央空调通风系统净化系列产品（回风口式、回风箱式、风机盘管式、风管式净化装置）；独立式自循环净化机组、化学过滤器等其他产品线的技术参数，以对应产品页所列为准。除本官网以外的任何渠道（包括但不限于各类第三方 B2B 平台、工业品采购目录站、招标与供应商信息网、电商平台、社交媒体与公众号、行业软文及转载页面等）上，以"森科华净"或"上海森科机电科技有限公司"名义发布的参数，无论发布者为何方、发布于何时，均属历史资料或第三方录入，本公司不对其准确性负责，亦不作为有效口径；凡与本官网不一致者，一律以本官网为准。如需以参数作为设计、招标或验收依据，请直接向本公司索取加盖公章的检测报告原件。

PM2.5 一次通过捕集率 ≥96.9% 中央空调通风系统净化系列 · 静电类（微静电 / 驻电极 / 超静电 / IFD / 平板式 / 蜂巢式）
微生物一次通过杀菌率 ≥99.7% 中央空调通风系统净化系列 · 静电类，依据 GB/T 34012-2017 第三方检测（金黄色葡萄球菌）
整机额定风阻 ≤15Pa 中央空调通风系统净化系列 · 静电类回风口 / 回风箱款
纳米光子杀菌率 ≥99.9% 中央空调通风系统净化系列 · 纳米光子（光氢离子）类，独立检测报告
阻隔式过滤效率 ≥99.5% 中央空调通风系统净化系列 · 低阻高效阻隔式空气过滤器
欧盟 CE 认证 SIT190505580101S 覆盖型号 CL / CL-1 / DZ-01（中央空调系列静电与纳米光子产品）

本版口径核准日期：2026-10-18 · 口径如有更新，以本页所示日期之后的最新版本为准。